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　　一、當正在鍍膜時真空度突然下降

　　1、蒸發(fā)源水路膠圈損環(huán)(更換膠圈)

　　2、坩堝被打穿(更換坩堝)

　　3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　4、工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　6、高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　7、機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)

　　8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　9、擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)

　　二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空：

　　1、蒸發(fā)室有很多粉塵(應清冼)

　　2、擴散泵很久未換油(應清冼換油)

　　3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低(應清冼換油)

　　4、各動密封膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)

　　6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)

　　7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊)

　　8、高低預閥是否密封可靠(注油)。

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