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氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏優(yōu)缺點?
發(fā)布時間:2014-10-17 瀏覽:  次

  氦質(zhì)譜檢漏是指從真空腔體外部用氦氣吹向被檢測部位,然后由連接在真空腔體上的氦質(zhì)譜檢漏儀來檢測侵入的氦氣,這是目前最為常用的真空檢漏方式。

  氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理如圖1所示。

  燈絲發(fā)出的熱電子加速流向陽極,遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集極運動的途中設(shè)置磁場,則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運動。

  離子的質(zhì)量為m,電荷為e,則圓形軌跡的半徑和質(zhì)荷比m/e有關(guān)。

  合理設(shè)置出口縫隙的位置,使m/e=4,即 He+能穿過縫隙,其他不同于氦質(zhì)荷比的離子因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同而無法穿過出口狹縫,因此氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測到一價氦離子。

  使用氦質(zhì)譜檢漏儀,通常要求被檢測空間的真空度在10-3 Pa以下,檢測精度可達(dá)10-13 Pa·m3·s-1。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理圖

  圖1 氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理圖

  1—燈絲;2—陽極;3—磁場;4—狹縫;5—離子收集極;6—加速電極

  氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。

  靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。

  檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:

  (1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;

  (2)不能燃燒,作業(yè)安全;

  (3)惰性氣體,和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng);

  (4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;

  (5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會堵住微漏孔;

  (6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;

  (7)氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm,容易定點查清漏氣位置。

  由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點所在。

  當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時,可針對重點部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。

  一般情況下,真空檢漏時要重點關(guān)注以下部位:

  (1)法蘭接口部位;

  (2)焊接部位;

  (3)波紋管部位;

  (4)其他密封部位。

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