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| 離子真空泵檢漏知識(shí) |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-10-14 瀏覽： 次 |
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離子泵檢漏法的基本原理與電離真空計(jì)檢漏法類似，是利用示漏氣體進(jìn)入離子泵時(shí)，泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的，根據(jù)這種變化，可檢測(cè)出真空系統(tǒng)的漏孔，并可估算漏孔的大小。 在使用帶有離子泵的抽氣系統(tǒng)，或把被檢件接到離子泵抽氣系統(tǒng)上去時(shí)，人們可以在任何時(shí)間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對(duì)系統(tǒng)或被檢件進(jìn)行檢漏。 這種檢漏方法無(wú)須額外儀器，既靈敏又簡(jiǎn)便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。 檢漏裝置如圖離子泵檢漏裝置示意圖所示。首先將離子泵抽空，抽到較低壓力后關(guān)閉閥門2，使離子泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件，用前置泵排氣，當(dāng)真空度達(dá)到1～10-1 Pa時(shí)，關(guān)閉閥門4并打開閥門2，用離子泵抽氣。 當(dāng)達(dá)到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處，如噴吹到漏孔處時(shí)，示漏氣體就會(huì)進(jìn)人系統(tǒng)，使離子泵的放電電流指示迅速上升，這是因?yàn)楸脤?duì)氬氣抽速較低的緣故。 當(dāng)用氫或氧來(lái)檢漏時(shí)，將會(huì)引起泵電流的下降，因?yàn)殡x子泵對(duì)這些氣體的抽速比對(duì)空氣的抽速大。 這種方法的靈敏度為10-4～10-9Pa·m3·S-1。根據(jù)漏孔的大小，可以調(diào)節(jié)閥門2和4的開啟程度實(shí)現(xiàn)其檢漏效能。檢漏時(shí)須注意其靈敏度與壓力成反比，因此應(yīng)盡量在較低的平衡壓力下進(jìn)行檢漏;示漏氣體最好經(jīng)過(guò)凈化處理。 該方法與氦質(zhì)譜檢漏儀相比較具有以下特點(diǎn)： ①造價(jià)低，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，用一般無(wú)油系統(tǒng)即可; ②不存在燒斷燈絲的問(wèn)題; 本文由愛加真空(http://m.99281.cn)收集整理，我公司專業(yè)銷售美國(guó)野馬真空系統(tǒng)，歡迎來(lái)電咨詢! 推薦閱讀 |
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