欧美久久丝袜,国产精品一二,亚洲AV无码超清不卡在线电影,动漫AV成人无码精品网站

            
當(dāng)前位置: 首頁 > 技術(shù)中心

技術(shù)中心

磁控濺射基本原理分析
發(fā)布時間:2014-09-03 瀏覽:  次

  1、陰極濺射

  所謂“陰極濺射”就是真空腔體內(nèi)荷能粒子(主要是工作氣體電離后的正離子)轟擊陰極靶材,從而引起靶材表面粒子(正離子、原子和分子等)被撞擊獲能后從靶材表面逸出的現(xiàn)象。

  它是高能離子轟擊陰極,使陰極表面的中性原子或分子獲能逸出的過程,濺射是轟擊粒子與靶材原子之間動態(tài)能量傳遞的結(jié)果。

  2、濺射能量閥值

  (1)陰極靶材濺射能量閥值是指將靶材原子濺射出來所須的入射(即轟擊)離子的最小能量值;

  (2)當(dāng)入射離子的能量低于濺射閥值時,雖然可以見到等離子體發(fā)出的較強輝光,但是不會發(fā)生靶材原子濺射逸出現(xiàn)象;

  (3)濺射能量閥值與入射離子質(zhì)量無明顯依賴關(guān)系,但不同的工作氣體對靶材濺射能量閥值會產(chǎn)生一定影響。

  (4)不同陰極靶材的濺射能量閥值有很大的不同。

  濺射能量閥值隨靶材原子序數(shù)增加而減小(即與原子核外電子能級排列與最外層電子“排列位置”的“滿位”或“缺失”狀況有關(guān))。

  大多數(shù)金屬靶材濺射能量閥值為10~30ev(氬Ar為工作氣體)。

  (5)轟擊靶材離子的能量可以通過調(diào)節(jié)靶電源的輸出,即改變磁控靶濺射電壓進(jìn)行控制。

  磁控靶濺射電壓還會對濺射沉積的薄膜晶狀結(jié)構(gòu)造成影響。

  (6)在磁控靶濺射的工藝過程中,如發(fā)現(xiàn)最終未能在基片和工件表面濺射沉積成膜的情況,究其原因,可以從以下幾個方面著手分析:

 ?、?磁控靶濺射電壓是否足夠高(靶輸出電壓的高低可以決定轟擊靶材的電離氣體離子的能量大小,只有轟擊離子的能量大于靶材的濺射能量閥值,濺射才有可能發(fā)生)。

 ?、?磁控靶是否工作在氣體放電伏-安特性曲線的“異常放電”區(qū)段上。直流靶電源運行在“異常放電”區(qū)段時的典型特點是:調(diào)節(jié)磁控靶濺射電壓高低時,濺射電流隨之同步增加或減少;脈沖和射頻電源隨著輸出頻率的增高,這種相對應(yīng)性會減弱,操作人員須在工藝實踐中細(xì)心體會才能掌握。

 ?、?磁控靶前出現(xiàn)的靶材濺射離子發(fā)光的典型顏色是否正確,這是判斷靶材是否發(fā)生濺射的一個重要衡量標(biāo)準(zhǔn)之一。

 ?、?可能部分靶材(例如鋁靶材表面的氧化鋁層)的預(yù)濺射過程還未結(jié)束。

 ?、?還可通過測試到達(dá)基片和工件的離子數(shù)即偏置電流來間接反應(yīng)靶材濺出離子的沉積狀況(這個方法的可靠性不高,當(dāng)磁控濺射功率較小時,偏置電流太小,不易準(zhǔn)確識別)。

  ⑥ 磁控靶的表面溫度主要決定于靶材的散熱條件和靶材所承受的平均功率的大小。

  當(dāng)散熱條件確定時,若平均功率的較大,磁控靶可以在偏低一些的濺射電壓下進(jìn)行靶材的濺射;反之,則需較高的電壓。

  這也是同一靶電源,帶小靶能夠正常進(jìn)行濺射,而帶大靶在很小的功率時濺射難以穩(wěn)定進(jìn)行的重要原因之一。

本文由Polycold維修專業(yè)人員,愛加真空整理,我公司專業(yè)提供進(jìn)口真空鍍膜機銷售和維修服務(wù),歡迎來電咨詢!

相關(guān)閱讀

磁控濺射的一般知識

濺射沉積率原因分析?






  上一篇:真空系統(tǒng)常用術(shù)語一覽表

  下一篇:真空系統(tǒng)大容器檢漏技術(shù)

  
久久国产AV电影| 一区二区三区四区精品视频在线观看| 亚洲夜夜一区二区三区| 成人区精品一区二区不卡网站| 精品动漫一区二区三区在线观看 | 国产美女精品三级在线观看| 找个免费看的毛片| 日韩一区二区精品在线看| 高潮喷水东京热av| 日本顶级特黄视频| 久久综合围产精品视频无码| 国产激情区二区三区成人| 久久精品二区亚洲综合视频 | 色欲综合一区二区三区| 抽搐高潮合集| 夜夜夜大香蕉| 亚洲中文无码av永久| 免费人妻无码不卡中文| 亚洲成人在线网站| 欧美变态调教一区二区三区| 亚洲成A人片在线观看中文| 肏丰满少妇高潮视频| 日亚毛片av免费不卡一区二区| 精品日韩久久| 五月天丁香久久婷婷| 国产欧洲精品亚洲午夜拍精品| 久久av无码| av无码资源网一区二区| 国产品视频a人人澡| 国产高清无码视频在线播放 | 又粗又硬又黄又爽的视频| 人妻人人搞| 国产亚洲欧美日韩综合综合二区 | 18禁超污无遮挡无码网址| 午夜福利电影院| 午夜在线国产视频| 欢迎访问欧美日韩国产大陆综合一区| 午夜黄色国产AV| 四虎午夜影视| 亚洲av综合aⅴ国产av中文| 婷婷丁香五月天综合东京热|